Растровый Электроннный Микроскоп произведен в Японии в 1987 году. Увеличение 100000, разрешение 60 ангстрем. В рабочем состоянии. Размер образца для исследований до 150 мм в диаметре. В настоящий момент отсутствует катод и inner bake heater для прогрева катода после получения высокого вакуума.

Краткое описание характеристик:

HITACHI S-806 Field Emission Scanning Electron Microscope (FE-SEM), maximum specimen size 6 inches (150 mm) dia. wafer
Secondary electron image
Resolution: 6 nm (60 A) - 25 kV
Magnification: 50x - 100,000x
Manual loader, 6 inches dia.
Ion pumps

Specimen stage:
Movement range:
X and Y: 0 to 150 mm
Stage drive: Pulse motor control
Joystick control (Auto eucentric)
Z (WD): 5 - 35 mm
Rotation: 360°
Tilt: 0 - 60°

Electron optics:
Electron gun: Cold field emission type
Accelerating voltage: 0.5 - 5 kV (variable in 0.1 kV step) / 5 - 25 kV (variable in 1 kV step)
Emission extracting voltage: 0 - 6.3 kV
Lens system: 2-stage electromagnetic lens
Objective aperture: click-stop type 4 openings, alignable outside column, self-cleaning type thin aperture
Scanning coil: 2-stage electromagnetic type
Stigmator: 8-pole electromagnetic type (X, Y)

Control and display system:
Scanning modes
Viewing CRT
Digital image registration computer system